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標(biāo)識(shí)牌制腐蝕工藝介紹

2018/10/12 10:18:48 次瀏覽

標(biāo)識(shí)牌制腐蝕工藝有以下步驟

一、標(biāo)識(shí)牌去層:

1. 堿洗去層:在反響容器中制造 20-40%的氫氧化鈉溶液為腐蝕溶液,將標(biāo)識(shí)牌參加堿鍋里進(jìn)行腐蝕,依據(jù)標(biāo)識(shí)牌的結(jié)深斷定腐蝕時(shí)刻,一般為30---120秒。用漏勺撈起看硅料外表是否亮光無(wú)雜質(zhì)。

標(biāo)識(shí)牌制腐蝕

2. 沖刷殘堿:在沖刷槽中將標(biāo)識(shí)牌上附著的殘堿沖刷潔凈。

3. 超聲波超洗:在超聲波內(nèi)注入足量純凈水以可以淹沒(méi)標(biāo)識(shí)牌為準(zhǔn);將 10-15 千克的標(biāo)識(shí)牌用純凈水沖凈,倒入清洗槽內(nèi),翻開(kāi)超聲機(jī)清洗開(kāi)關(guān),每10分鐘將標(biāo)識(shí)牌悉數(shù)翻動(dòng)一次,防止疊片時(shí)攙雜雜質(zhì),無(wú)法清洗出來(lái)。清洗 20 分鐘換兩次水后封閉超聲清洗開(kāi)關(guān),將槽內(nèi)清洗水放盡;用高純水再超兩次(每次 10 分鐘),每3分鐘將標(biāo)識(shí)牌翻動(dòng)一次,最終封閉超聲波開(kāi)關(guān),放盡清洗水,翻動(dòng)標(biāo)識(shí)牌,將雜質(zhì)和殘留標(biāo)識(shí)牌上的清洗水沖盡;氫氟酸浸泡:在浸泡池中裝備15%~ 25%的氫氟酸溶液,將標(biāo)識(shí)牌放入浸泡池內(nèi)浸泡 5-6 分鐘,并拌和標(biāo)識(shí)牌防止疊片?;蛴?:15-1:20 的混酸進(jìn)行清洗30S 左右;沖刷殘酸:在沖刷槽中將標(biāo)識(shí)牌殘酸沖刷潔凈;

4. 超聲波清洗: 

A、在超聲波內(nèi)注入足量純凈水以可以淹沒(méi)標(biāo)識(shí)牌為準(zhǔn)。

B、將 10-15 千克的標(biāo)識(shí)牌用純凈水沖凈,倒入清洗水槽內(nèi),翻開(kāi)清洗開(kāi)關(guān),每 10 分鐘

將標(biāo)識(shí)牌悉數(shù)翻動(dòng)一次, 防止疊片時(shí)攙雜雜質(zhì), 無(wú)法清洗出來(lái)。 超聲時(shí)刻按車(chē)間具體規(guī)定履行。

C、用高純水沖刷標(biāo)識(shí)牌,將殘留雜質(zhì)沖凈。

D、用高純水沖刷將雜質(zhì)和殘留標(biāo)識(shí)牌上的清洗水沖盡。

E、脫水:用紗網(wǎng),每次放標(biāo)識(shí)牌 5-6 千克到脫水機(jī)中脫水 2 分鐘。

F、沖刷:將標(biāo)識(shí)牌放入沖刷槽中沖洗并拌和。

G、烘干:將標(biāo)識(shí)牌放入花籃中,堆積厚度小于2厘米,并將標(biāo)識(shí)牌用塑料棒劃通氣縫。烘箱溫度調(diào)至 115℃,烘干 2~4 小時(shí)。

二、標(biāo)識(shí)牌浸泡:

1. 濕法蝕刻工藝:將標(biāo)識(shí)牌倒入浸泡池中,體積不超越浸泡池的 2/3 。在浸泡池中倒入腐蝕溶液。腐蝕溶液為氫氟酸 49-59%的工業(yè)純刻蝕溶液,浸泡 12 小時(shí)后,放出酸液,將硅

片沖刷潔凈。

2.去除金屬沾污:制造王水溶液,依據(jù)氣溫變化稀釋至 30-50%的濃度,浸泡 12 小時(shí)后,放出酸液,將標(biāo)識(shí)牌沖刷潔凈。

3.二次濕法蝕刻工藝:將標(biāo)識(shí)牌倒入浸泡池中,體積不超越浸泡池的2/3。在浸泡池中倒入腐蝕溶液。腐蝕溶液配比為 HF:NH4F=(6-10)工業(yè)氫氟酸,浸泡: 112 小時(shí)后,放出

酸液,將標(biāo)識(shí)牌沖刷潔凈。

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